CtB´s Slurrysysteme
sind konzipiert für die zentrale Versorgung von
CMP-Anlagen in der Halbleiterfertigung. Entsprechend den Bedürfnissen
beim Einführen von Slurryprozessen sind die Slurry-Systeme modular
aufgebaut:
- Slurryversorgungssysteme SDM (Slurry Distribution Module) als Grundmodul
für „ready to use slurries“ die in Phase 1 üblicherweise verwendet
werden.
- Slurryansetzsysteme SMM (Slurry Mix Module) als Erweiterung
des Grundmoduls, wodurch die Verwendung der günstigeren
Slurrykonzentrate möglich wird.
Mit
Know-how aus Chemie, Verfahrenstechnik, Online-Analytik und
Qualitätssicherung beherrschen wir auch anspruchsvolle Slurrysystem!
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