Produkte

Die CtB-Chemieversorgungssysteme CDM (Chemical Distribution Module) sind konzipiert für die zentrale Versorgung der Halbleiterfertigung mit ultra reinen Chemikalien. Sie basieren auf der Betriebserfahrung mit ca. 200 Anlagen im Feld.

Besondere Beachtung fanden:

• Sicherheit / höchste Reinheit / Funktionalität
• Optionen für extrem hohe Verfügbarkeit bis 99,95%
• Platzbedarf und Bedienungsfreundlichkeit

Als Optionen verfügbar:

• Kontinuierliche Füllstandsmessung
• Redundante Pumpe mit automatischer Umschaltung
• Redundante Filter mit automatischer Umschaltung
• Automatisches Reinigen von Pumpe und Filter
• N2-Schutzatmosphäre
• Tagestank
• FM4910-Konformität
• TÜV-Bestätigung für SEMI® S2-Konformität

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